起源の場所:
中国
ブランド名:
KACISE
証明:
CE
モデル番号:
KGD-MQ-536
KGD - MQ - 536 赤外線ガスセンサー
製品紹介
KGD - MQ - 536 赤外線ガスセンサーは,非分散型赤外線 (NDIR) 技術をベースにしています.WF6,CF4,SF6,NF3などのガスを正確に測定できます.半導体アプリケーションで発生するCO2. 設備内の一般的な事前設定寸法,フレンズ,通信プロトコルと互換性があります. 半導体堆積と清掃プロセスでエンドポイント検出に使用できます.また,室内清掃用の端末検出清掃時間を短縮し コストを削減し 生産を増やすことができます
製品の特徴
テクニカルパラメータ
パラメータ | 詳細 |
検出原理 | NDIR |
検出されたガス | WF6,CF4,SF6,NF3,CO2 |
測定範囲 | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
繰り返し可能性 | ±0.5% |
線形性 | ±1%F.S. |
検出制限 | 1ppm |
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