起源の場所:
中国
ブランド名:
KACISE
証明:
CE
モデル番号:
KGD-MQ-537
KGD-MQ-537赤外線ガスセンサーは,非分散型赤外線 (NDIR) 技術を活用し,半導体アプリケーションでSiF4,CF4,SF6,NF3,CO2を含むガスを正確に測定します.共通機器の寸法に適合するように設計半導体堆積と清掃プロセスにおける端点検出や 室の清掃のための端末検出に最適です掃除時間を短縮するコストを削減し 生産を増やすことです
| パラメータ | 詳細 |
|---|---|
| 検出原理 | NDIR |
| 検出されたガス | SiF4,CF4,SF6,NF3,CO2 |
| 測定範囲 | 1〜264ppm (0〜200mTorr) |
| 繰り返し可能性 | ±0.5% |
| 線形性 | ±1% F.S. |
| 検出制限 | 1ppm |
問い合わせを直接私たちに送ってください.